白光干涉仪是三维形貌测量领域中最精确的测量仪器之一。在相同放大倍数下，测量精度和重复性均高于共焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或亚纳米级超高精度加工领域，除白光干涉仪外，其他仪器均不能满足检测精度要求
Superview W1系列白光干涉仪由光源系统、光学成像系统、垂直扫描系统和数据处理系统
照明光束通过半反射和半透明分光镜分为两束，分别投射到样品表面和参考镜面上。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜形成一束光，成像系统在CCD相机的感光表面上形成两个叠加图像。由于两束光相互干涉，在CCD相机的光敏面上会观察到明暗干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光之间的光程差，因此可以根据白光干涉条纹的亮度
来分析被测样品的相对高度
白光干涉仪由以下部分组成：光学照明系统采用卤素光源，中心波长为576 nm，光谱范围为340 nm至780 nm。光学成像系统
采用由显微物镜和成像目镜组成的无限光学成像系统。垂直扫描控制系统
由压电陶瓷和控制驱动器组成。采用闭环反馈控制方法，精确驱动微目标上下移动，移动范围100-1000微米。位置移动精度为0.1nm。信号处理系统
信号处理系统是仪器的核心部分，由计算机和数字信号协处理器组成。计算机采集了一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据分析。应用软件
应用软件主要由操作控制部分、结果显示部分和后处理部分组成。主要用于操作和控制表面形状测量仪器。同时，实时测量结果以三维、二维平面和截面分布曲线的形式显示。测量结果可以进一步校正
与步进仪相比，白光干涉仪具有以下优点：第一，非接触式高精度测量不会划伤甚至损坏工件；第二，测量速度快，不需要像探头那样逐点测量；第三，不需要进行探头半径修正，光斑位置是在工件表面测量的位置；第四，对于高宽高比的槽结构，可以快速、准确地获得理想的测量结果。随着白光干涉技术的发展和完善，白光干涉仪得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域，白光干涉仪可以提供更高精度的检测要求
超光滑表面测量
磨损形貌测量